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产品简介
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在气体流量控制领域，爱拓利展示了其从MFC300、MFC330到MFC600等多个系列的气体质量流量计产品。
以专为微小流量场景设计的MFC300系列为例，它采用MEMS流量传感器，并自带温度和压力补偿功能。其测量准确度可达±0.5%F.S.，而传感器响应时间仅为5毫秒。
爱拓利流量计的核心优势在于其高精度与高稳定性。以MFC600系列为例，准确度可达±0.2%F.S.，线性度为±0.1%F.S.，重复精度更是达到±0.05%F.S.。
这种高精度特性在动态气体配气过程中至关重要，可以确保各组分流量的精确控制，从而保证最终混合气体浓度的准确性。
爱拓利专注于微小气体领域精准测控，产品广泛应用在半导体，光伏，光纤，FPD，真空镀膜，新能源电池，分析仪器，生物制药，制配气、化工、食品、工业自动化等领域
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