毛细管气体质量流量计MFC350 系列为全新升级的毛细管热式气体质里流量计/控制器。

苏州爱拓利是国内极少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企业。其产品的核心部件毛细管柱式传感器和高精度微型气体比例阀均已实现国产化、自研自制率100%、全制程自主可控，其性能赶超进口同类产品。爱拓利目前已为多家重点大学实验室、科研院所、精密分析仪器厂家、生物制药厂家及、环保设备及光电设备厂商提供流量计/控制器的软硬件配套产品。通过广泛的应用，爱拓利流量计产品的*性、重复性和稳定性得到了充分的验证。爱拓利的愿景是成为一家在流体测控领域具有影响力的创新型企业。我们专注于拥有自主知识产权、纯国产化的核心零部件的开发，以期打破进口产品的技术垄断，摆脱对进口品牌的依赖，大力提升*制程和科学仪器中国产化替代水平和应用规模，致力于早日打造出高品质且性能可靠的流体测控产品，为解决我国基础科学及*制程领域所面临的“卡脖子"困境贡献一份绵薄之力。

MFC350 系列为全新升级的毛细管热式气体质里流量计/控制器。

产品特点

精度：0.5 % F.S.

测量范围：0.5%~100% F.S.

控制范围：1%~100% F.S.

工作压差范围：0-1 MPa

≤1s 快速响应

90+种气体适用

量程：2 sccm-200slm

通讯方式: 模拟量，RS485, RS232, CAN, EtherCat

主要参数

介质要求  洁净干燥气体

气体种类  130+ Available for 130+types of gas

量程  0-1, 5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm

0-1, 2, 3, 4, 200 slpm

控制范围  1%F.S-100%F.S.（1:100）

准确度  0.2% F.S

重复精度  0.05% F.S

线性度  0.1%F.S

控制响应时间  100ms

预热时间  0s

阀门  常闭

泄漏率  1*10-10 Pa*m³/s He (氟橡胶密封)

1*10-11 Pa*m³/s He（全金属密封）

分辨率  0.001sccm