热式气体流量计-平替进口同类产品MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。

主要参数

介质要求  洁净干燥气体

气体种类 98+气体可选

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

测量范围  0.5%F.S.（1:200）

控制范围  1%-100% FS.（1:100）

准确度  ±1% F.S.

重复精度  ±0.2%F.S.

线性度  ±0.2%F.S.

控制响应时间  <3 秒

预热时间  5 min（T95），30 分钟最佳

阀门  常闭式

苏州爱拓利是国内极少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企业。其产品的核心部件毛细管柱式传感器和高精度微型气体比例阀均已实现国产化、自研自制率100%、全制程自主可控，其性能赶超进口同类产品。爱拓利目前已为多家重点大学实验室、科研院所、精密分析仪器厂家、生物制药厂家及、环保设备及光电设备厂商提供流量计/控制器的软硬件配套产品。通过广泛的应用，爱拓利流量计产品的先进性、重复性和稳定性得到了充分的验证。爱拓利的愿景是成为一家在流体测控领域具有影响力的创新型企业。我们专注于拥有自主知识产权、纯国产化的核心零部件的开发，以期打破进口产品的技术垄断，摆脱对进口品牌的依赖，大力提升先进制程和科学仪器中国产化替代水平和应用规模，致力于早日打造出高品质且性能可靠的流体测控产品，为解决我国基础科学及先进制程领域所面临的“卡脖子"困境贡献一份绵薄之力。