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产品简介
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数显气体质量流量计MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。
产品特点
精准质量流量测量/控制
快速响应、高重复性
不受温度和压力的影响
工作压差范围大：0-1MPa
低压损可选
全金属比例阀可选
集成显示器可选
经济有效的解决方案
技术参数
主要参数
介质要求 洁净干燥气体
气体种类 98+气体可选
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
测量范围 0.5%F.S.（1:200）
控制范围 1%-1 00% FS.（1:100）
准确度 ±1% F.S.
重复精度 ±0.2%F.S.
线性度 ±0.2%F.S.
控制响应时间 <3 秒
预热时间 5 min（T95），30 分钟最佳
阀门 常闭式
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