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产品简介
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微量气体流量计MFM毛细管热质量流量计,直接测量较低流量范围内的清洁气体和混合气体的质量流量。
产品特点
精准质量流量测量/控制
快速响应、高重复性
不受温度和压力的影响
低压损可选
集成显示器可选
经济有效的解决方案
技术参数 主要参数
介质要求 洁净干燥气体
气体种类 98+气体可选
量程 10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
测量范围 0.5%-100% F.S.
准确度 ±0.5% F.S.
重复精度 ±0.2%F.S.
线性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）
传感器响应时间 <1s
预热时间 5 min（T95），30 分钟最佳
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