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氮气质量流量控制器厂家MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动， 依然能够保持稳定的流量控制。
氮气质量流量控制器厂家MFC330 系列气体质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、稳定性好、工作压力范围 宽、极低零漂等特点。模拟量和数字量等多种通讯方式可选，内置显示屏可选，操作配置灵活。 MFM/MFC330广泛应用于半导体制造、真空镀膜、特种材料学科、石油化工、医药、环保等行业的气流 测量和控制。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、 离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪、光谱仪、 质谱仪及其它分析仪器。
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