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热式气体质量流量控制器
产品简介

爱拓利AITOLY是一家质量流量计和控制器的专业研发制造商。爱拓利专注于微小流量测量与控制，拥有自主知识产权的传感器、高精度比例阀等，研发生产的质量流量计及流量控制器，在工业和科学领域已稳定运行十数年。目前主营产品有热式气体质量流量控制器MFC300 和MFC330，皂膜流量标准装置等。

产品型号：mfc300
更新时间：2026-01-08
厂商性质：生产厂家
访问量：671
产品咨询 18168878188

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MFC300热式气体质量流量控制器 系列气体质量流量计/控制器，该系列采用 MEMS 流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

热式气体质量流量控制器

产品特点

超快响应：5ms 测量响应，300ms控制响应

高重复性，宽量程比

更小体积，安装方便

无需预热，使用便捷

分阶流量控制软件，灵活配置


TECHNICAL PARAMETERS
技术参数
主要参数
  • 介质要求
    洁净干燥无腐蚀性气体
  • 气体种类
    Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
  • 测量和控制范围
    0.2%-100%F.S. （1:500）
  • 准确度
    ±0.5%F.S.
  • 重复精度
    ±0.5%F.S.
  • 线性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可选）
  • 传感器响应时间
    5ms
  • 控制响应时间
    300ms
  • 预热时间
    ≤1s
  • 阀门
    常闭式


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