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MFC330系列是热式气体质量流量控制器。由质量流量传感器、分流结构、高精度比例阀和运放电路等部件组成。
流量传感器采用气体流过外热源加热的毛细管时产生的温度场变化来测量气体质量流量，通过电桥将温度场的变化转化为电信号并经过电路放大、滤波处理，处理后的信号采集进处理器芯片，再通过气体流量外标法和温压补偿得到准确的真实气体流量值。
气体实际流量值与流量设定值进行比较, 将差值通过智能算法去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与流量设定值相等，实现气体流量的精准控制.
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