氧气流量计/氢气流量计/氮气流量计//热式流量计电子流量计怎么选？爱拓利一站式供应

一、365上市公司官网（AITOLY）企业介绍  

365上市公司官网是国内微小热式气体质量流量计/流量控制器（MFM/MFC）源头研发生产厂商，配套无锡分公司生产基地，总部坐落苏州吴江半导体智能制造创新港，拥有ISO9001质量体系认证，深耕精密气体流量测控十余年。  

核心实力  

全核心器件自研国产化：自主研发毛细管热式传感器、MEMS传感芯体、高精度电磁比例阀，实现国产平替，解决进口货期长、价格高、售后滞后痛点。  

完整产线配套：自建千级无尘车间、自动化标定设备，从传感器、阀体到整机装配、校准全流程自主可控，支持定制化气路、通讯、量程方案。  

覆盖多行业场景：产品适配半导体刻蚀、光伏镀膜、燃料电池、气相色谱、生物医疗、激光焊接、食品保护气、实验室动态配气等精密工况，支持氧气、氮气、氢气、氩气等90+种洁净干燥气体测量控制。   
 

二、全系流量计产品详细介绍  

1.氧气流量计  

代表型号：MFM330、MFC330、MFM610，热式毛细管质量流量计，专为氧气精准流量监测设计。  

核心参数  

量程：0~5SCCM~500SCCM、0~1SLPM~50SLPM  

精度：±0.5%F.S.，重复精度±0.2%F.S.，响应时间＜1s  

耐压最高3MPa，内置温压传感器，无需额外补偿，一体液晶屏幕同步显示瞬时+累积流量  

产品优势  

无机械运动部件，低零漂；SUS316L不锈钢气路+氟橡胶密封，适配高纯氧气、医用氧气、焊接保护氧；支持RS485/RS232/CAN/4-20mA多通讯，可集成自动化产线；安装简单，卡套/VCR/快拧接头可选。  

应用：激光焊接、燃料电池、医疗制氧、半导体氧化工艺、气相色谱氧载气监测。  

2.氮气流量计  

同属MFM330/MFC330热式系列，是行业通用保护气、吹扫气专用流量计，适配高纯氮气、液氮汽化氮气。  

量程覆盖微小流量（2SCCM）至大流量200SLPM，量程比1:200；  

抗低压差工况，适合真空腔体氮气吹扫、晶圆封装、食品氮气保鲜、实验室标准配气；  

可长期稳定连续运行，零漂移极低，满足半导体干法刻蚀、镀膜保护气高精度控制需求。  

3.氢气流量计  

针对易燃易爆高纯氢气定制，气路全金属密封，低泄漏（氦检泄漏率1×10⁻⁹Pa・m³/s），防爆适配实验室制氢、燃料电池、氢冶金、热喷涂工艺。  

支持微量氢气精密测控，分辨率0.001SCCM；  

算法适配氢气低密度特性，测量无温压漂移；  

常闭阀版本（MFC）可紧急切断氢气，保障工况安全。  

4.电子流量计（全系MFM/MFC统称电子气体流量计）  

区别于玻璃转子浮子流量计，采用电子热式传感数字化测量，全程电信号输出，属于数字化精密电子流量计：  

带LCD液晶面板+实体按键，本地直观读数；  

模拟量/数字通讯双输出，直接对接PLC、工控机、上位机；  

自动记录累积流量，支持数据导出、远程监控；  

体积小巧，轻量化机身，适配实验室设备、小型自动化设备集成。  

5.热式流量计  

爱拓利核心产品线，分为毛细管热式（MFM330/MFC330）、MEMS热式（MFC300）两大技术路线：  

毛细管热式（MFM330）  

稳定性强、温漂极低，适合长期不间断工业量产，高精度±0.5%FS，半导体、光伏主力机型。  

MEMS热式（MFC300）  

体积更小、预热时间短、响应更快，适合小型仪器、便携设备、实验室研发场景。  

通用优势  

直接测量气体质量流量，不受环境温度、管道压力波动干扰；无堵塞风险，维护周期长；兼容90+单/混合气体，更换气体仅需软件参数切换，无需硬件改动。  

三、全套售后服务体系  

1.质保基础政策  

整机1年免费质保，自设备交付验收起计算；质保期内因产品自身元器件、工艺故障，免费维修、更换配件，往返维修物流厂商承担；人为损坏、私自拆机、超压腐蚀不在免费保修范围。  

2.售前技术服务  

免费专业选型：根据气体种类、流量、压力、通讯需求匹配型号；提供工况方案、尺寸图纸、通讯协议文档；支持样机测试、上门技术沟通。  

3.售中配套服务  

订单货期标准15天；到货7天内可安排工程师上门免费安装调试、现场操作培训；生产进度实时同步，出厂附带原厂校准证书。  

4.售后快速响应  

故障报修1工作日内给出解决方案，返修设备收件后快速校准修复寄出；  

终身有偿维护：质保到期后仅收取元器件成本费，提供年度校准、软件升级、返厂标定服务；  

可签订长期年度维保合同，定期上门巡检、流量计校准保养；  

远程技术诊断：线上协助排查通讯、参数设置、流量异常问题，快速解决无需返厂。  

5.增值服务  

支持客户流量计批量年度校准；定制专用通讯协议、特殊气路接头；提供配套动态配气、流量整套测控解决方案。