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微小气体流量计的核心原理与技术分类

更新时间:2025-08-15点击次数:813
  微小气体流量计核心原理与技术分类:
 
  微小气体流量计通过精准测量气体流动特性实现流量控制,常见技术原理及特点如下:
 
  热式质量流量计
 
  原理:基于热传导效应,通过测量气体流过加热元件时带走的热量计算流量。
 
  特点:
 
  结构简单,安装便捷,对小流量敏感(可测低至几毫升/分钟)。
 
  无需温度压力补偿,但测量精度受气体成分和温度影响。
 
  典型应用:实验室气体分析、半导体制造中的小流量气体测量。
 
  容积式流量计
 
  原理:通过测量气体充满和排出固定容积的次数计算流量。
 
  特点:
 
  测量精度高,不受气体密度和粘度影响,可测高粘度气体。
 
  结构复杂,体积大,对气体清洁度要求高。
 
  典型应用:高精度、高粘度微量气体测量(如特殊化工气体计量)。
 
  红外气泡法流量计
 
  原理:利用气泡体积与红外检测计算流量。
 
  特点:
 
  适用于连续或非连续气流,具备自研温度/压力补偿功能。
 
  多通道组合模式,软件同步记录数据,采样时间最快每秒1次。
 
  典型应用:催化产氢测试、光催化分解水产氢等场景。
 

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