爱拓利MFC330

MFC330 传感器基于毛细管柱热式传感器，毛细管传感器管通过气体的热容量来测量其内部质量流量，气体的热量将热量从上游电阻温度检测器绕组带到下游绕组，二者都在传感器管的外部。

气流进入MFC后，分成两个内部流路：

第一条路径：流经加热的毛细管传感器管，该管的直径较小且长度较长。

第二条平行路径：通过分流旁路。

两条路径的流量比例取决于分流柱的设定，出厂前完成该设定。

设定完成后，通过毛细管柱传感器管和分流旁路的流量之比是恒定的。

毛细管传感器管通过气体的热容量来测量其内部质量流量，气体的热量将热量从上游电阻温度检测器绕组带到下游绕组，二者都在传感器管的外部。

需要预热： 5min 内达到 95% 流量精度，最长预热30min

基于热传导，MFC响应速度≤ 1s  优点：由于其非接触式的结构，抗腐蚀，液体不损坏，过流不损坏。